Plasmabearbeitungsgerät zur Erzeugung eines uniformen bandförmigen plasmas,申请号DE19936010801-传众专利搜索

发明名称	Plasmabearbeitungsgerät zur Erzeugung eines uniformen bandförmigen plasmas
摘要
申请公布号	DE69310801(D1)	申请公布日期	1997.06.26
申请号	DE19936010801	申请日期	1993.02.16
申请人	DAIHEN CORP., OSAKA, JP	发明人	ISHII, AKIRA, AMAGASAKI-SHI, HYOGO 661, JP;MINOMO, SYOICHIRO, TAKATSUKI-SHI, OSAKA 569, JP;TANIGUCHI, MICHIO, KOBE-SHI, HYOGO 651-12, JP;SUGIYO, MASATO, IZUMI-SHI, OSAKA 590-02, JP
分类号	C23C14/22;H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	C23C14/22
代理机构		代理人
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