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发明名称 Verfahren zum Ätzen von Mustern in Sendust- und Chromschichten
摘要
申请公布号 DE69310835(D1) 申请公布日期 1997.06.26
申请号 DE19936010835 申请日期 1993.07.21
申请人 NGK INSULATORS, LTD., NAGOYA, AICHI, JP 发明人 HIROTSUJI, EIGO, MATSUTAKE-CHO,KONAN-SHI, AICHI-KEN, JP;FUKUDA, NAOYA, CHITA-GUN, AICHI-KEN, JP
分类号 C23F1/28;G11B5/187;H01F10/14;H01F41/30;(IPC1-7):C23F1/28 主分类号 C23F1/28
代理机构 代理人
主权项
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