发明名称 Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterbauelementes
摘要
申请公布号 DE19654096(A1) 申请公布日期 1997.06.26
申请号 DE19961054096 申请日期 1996.12.23
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD., ICHON, KYOUNGKI, KR 发明人 SHEEN, DONG SUN, ICHON, KYOUNGKI, KR;LEE, JEONG RAE, ICHON, KYOUNGKI, KR
分类号 H01L21/31;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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