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发明名称
摘要
申请公布号	JP2539353(Y2)	申请公布日期	1997.06.25
申请号	JP19900097728U	申请日期	1990.09.17
申请人		发明人
分类号	G03F7/26;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	G03F7/26
代理机构		代理人
主权项
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