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发明名称
摘要
申请公布号 JP2623465(B2) 申请公布日期 1997.06.25
申请号 JP19880075393 申请日期 1988.03.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/208;C30B15/00;C30B15/22;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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