发明名称 Plasma etcher
摘要
申请公布号 GB2308338(A) 申请公布日期 1997.06.25
申请号 GB19950026311 申请日期 1995.12.22
申请人 * MOTOROLA LIMITED 发明人 MORNA * BAXTER
分类号 C04B41/53;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C04B41/91 主分类号 C04B41/53
代理机构 代理人
主权项
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