| 发明名称 |
Copolymers containing n-vinyllactam derivatives, preparation methods thereof and photoresists therefrom |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9708958(D0) |
申请公布日期 |
1997.06.25 |
| 申请号 |
GB19970008958 |
申请日期 |
1997.05.01 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD.;KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY (KAIST) |
发明人 |
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| 分类号 |
C08F212/00;C08F212/14;C08F220/12;C08F226/06;C08F230/08;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/039 |
主分类号 |
C08F212/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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