发明名称 |
DUST/DIRT INSPECTION DEVICE FOR OPTICAL SYSTEM BLOCK |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09166484(A) |
申请公布日期 |
1997.06.24 |
申请号 |
JP19950327332 |
申请日期 |
1995.12.15 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KOBAYASHI KAZUYUKI |
分类号 |
G01N21/88;G01J1/00;(IPC1-7):G01J1/00 |
主分类号 |
G01N21/88 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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