发明名称 THIN FILM PHASE TRANSFORMATION MEASURING METHOD AND MEASURING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09166561(A) 申请公布日期 1997.06.24
申请号 JP19950324265 申请日期 1995.12.13
申请人 NEC CORP 发明人 OSHIMA NORIKAZU
分类号 G01N25/02;G01N21/27;G01N27/04;(IPC1-7):G01N25/02 主分类号 G01N25/02
代理机构 代理人
主权项
地址