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发明名称 INTEGRATED MICRODEVICE
摘要
申请公布号 JPH09166606(A) 申请公布日期 1997.06.24
申请号 JP19950328707 申请日期 1995.12.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 HASHIZUME TOMIHIRO;HEIKE SEIJI;RATOBITSUCHI MAAKU;MITSUYA MUNEHISA;ICHIGUCHI TSUNEO;WATANABE SATOSHI;WADA YASUO
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q70/06;G01Q80/00;G11B9/14;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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