| 发明名称 |
VAPOR PHASE GROWTH AND VAPOR PHASE GROWING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09165299(A) |
申请公布日期 |
1997.06.24 |
| 申请号 |
JP19950328492 |
申请日期 |
1995.12.18 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
NISHINO HIROSHI;MURAKAMI SATOSHI |
| 分类号 |
C30B25/14;C30B29/48;H01L21/365;H01L31/0264;(IPC1-7):C30B29/48 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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