发明名称 SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09167739(A) 申请公布日期 1997.06.24
申请号 JP19950326687 申请日期 1995.12.15
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 YAMADA TAKESHI;MORI HIDEFUMI;NARIZUKA SHIGEYA;NISHINAGA SHIYOU
分类号 H01L21/20;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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