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发明名称 MANUFACTURING DEVICE OF SEMICONDUCTOR AND TFT-LCD
摘要
申请公布号 JPH09167698(A) 申请公布日期 1997.06.24
申请号 JP19950276046 申请日期 1995.10.24
申请人 OMI TADAHIRO 发明人 OMI TADAHIRO
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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