电浆探针侦测之取样器

摘要

一种交接点取样器探针，用于侦测电浆的射频电压和电流。该取样器探针使用一种取样讯号，该取样讯号的取样速率低于射频基本频率，而射频基本频率使被选用来产生一个具有叠合频率的叠合波形，该叠合频率大小低于射频基本频率许多等级（order），在一实施例中，所施加的射频电源是13.56 MHz（图３Ａ），而该取样脉冲具有2.732 MHz的取样速率（图３Ｂ），以产生叠合频率约为100 MHz 的射频电压波形和射频电流波形之复制波形（图４）。该叠合复制波形维持原有的相位和谐波资料，其精确度是其它取样技术尚未能够达到的。

主权项

1.一种电浆装置,在该电浆装置之中,一个射频电源产生器以一预定的频率产生射频电波,前述的电波经由一射频匹配网路被输送到一电浆室的电源输入口,在该电浆室内部,前述的电波产生出电浆,以及,在该电浆装置之中,侦测装置在前述电浆室的入口处对该射频电波,采取其样本,以判定被施加到前述电浆室的射频电源之量测値;其特征在于:前述侦测装置包含有取样装置,该取样装置以预定的取样速率取样前述射频电波的振幅,并连结一合成电路,结合所取样的振幅,以预定的叠合频率,产生叠合波形,该叠合频率明显低于前述产生射频电波的预定频率,又,该取样速率低于前述产生射频电波的预定频率。2.如申请专利范围第1项所述之装置,更进一步的特征在于:前述的射频电源产生器以前述的预定频率F产生前述的射频电波,前述预定的叠合频率被选择为fa,且前述的取样速率fs被选择为fs=F/N+/-fa/N其中,N是一个大于1的整数。3.如申请专利范围第2项所述的装置,更进一步的特征在于:前述预定频率F为13.56MHz,前述叠合频率fs约为50KHz至250KHz的大小。4.如申请专利范围第2项所述的装置,更进一步的特征在于:前述的整数N至少是5。5.如申请专利范围第1项所述的装置,更进一步的特征在于:前述取样装置包含:一个取样时钟,该时钟以前述的取样速率操作,一个第一高速取样与保持装置,该装置系由前述的取样时钟操作,以取样前述射频电波的电压,一个第二高速取样与保持装置,该装置系由前述的取样时钟操作,以取样前述射频电波的电流,以及前述的合成装置包括有产生叠合电压波形和产生叠合电流波形的装置。6.如申请专利范围第5项所述的装置,更进一步的特征在于:前述第一和第二取样和保持装置,分别包含一个A/D转换器,该转换器能够产生至少12位元宽度的数位样本。7.如申请专利范围第6项所述的装置,更进一步的特征在于:前述的第一和第二取样与保持装置对于相伴生的电压和电流波形同时进行取样。8.如申请专利范围第6项所述的装置,更进一步的特征在于:前述的第一和第二数位闩锁机构分别联结于前述的第一和第二取样与保持装置和一数位讯号处理器的个别输入口之间。图示简单说明:图一系射频电浆装置的方块图,该射频电浆装置包含有根据本发明较佳实施例的射频电源产生器、阻抗匹配网路、电浆室、和射频电源探针。图二系本发明之探针实施例的交接点取样部份的简化示意图。图三A至图三C系解释本发明实施例里施加的射频电源波形、取样脉冲、和所取得样本的振幅数値。图四系本实施例产生的重叠波形。