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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号
KR970010148(B1)
申请公布日期
1997.06.21
申请号
KR19920015016
申请日期
1992.08.21
申请人
AT & T CO.
发明人
SAILESH, CHITTIPEDDI;ROY, PRADIP K.;ANKINEEDU, VELAGA
分类号
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/28
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
地址
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