发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 KR970010148(B1) 申请公布日期 1997.06.21
申请号 KR19920015016 申请日期 1992.08.21
申请人 AT & T CO. 发明人 SAILESH, CHITTIPEDDI;ROY, PRADIP K.;ANKINEEDU, VELAGA
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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