发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09162279(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950321467 申请日期 1995.12.11
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOSHIDA MASAAKI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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