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发明名称 METHOD FOR TREATING SUBSTRATE SURFACE WITH LIQUID AND SYSTEM FOR TREATING SUBSTRATE WITH LIQUID
摘要
申请公布号 JPH09162153(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950346699 申请日期 1995.12.13
申请人 SONY CORP 发明人 FURUKAWA TOMOHARU
分类号 B25J13/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B25J13/00
代理机构 代理人
主权项
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