| 发明名称 |
DEAERATOR OF TREATMENT LIQUID FOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09162118(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
| 申请号 |
JP19950346459 |
申请日期 |
1995.12.11 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
SUGIMOTO HIROAKI;KITAGAWA MASARU |
| 分类号 |
B01D19/00;B01D61/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
B01D19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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