发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09162388(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950315434 申请日期 1995.12.04
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AZUMA ATSUSHI
分类号 H01L23/522;H01L21/336;H01L21/768;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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