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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING INTERFACIAL STATE DENSITY
摘要
申请公布号
JPH09162251(A)
申请公布日期
1997.06.20
申请号
JP19950317743
申请日期
1995.12.06
申请人
HITACHI LTD;HITACHI VLSI ENG CORP
发明人
TAKAHAMA TAKASHI;SATO KAZUHIKO;NAGARA TAKAMITSU;YOSHIGAMI JIRO;OKURA OSAMU
分类号
G01N22/00;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01N22/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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