发明名称 REAR ELECTRODE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH09162139(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950324547 申请日期 1995.12.13
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUCHIYA MASANOBU;OSAWA AKIHIKO;BABA YOSHIAKI
分类号 H01L21/28;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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