发明名称 FIELD CONTROL SCANNING PROBE MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH09159682(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950344903 申请日期 1995.12.06
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;GIJUTSU KENKYU KUMIAI ONGUSUTOROOMU TECHNOL KENKYU KIKO;MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMADA TAKAFUMI;YAMAMOTO SHINICHI;SUUJII JIYAABISU
分类号 G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/24;H01J37/28;(IPC1-7):G01N37/00 主分类号 G01B21/30
代理机构 代理人
主权项
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