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发明名称 SERVO SUBSTRATE WITH PROGRAMMABLE CONTROLLER FUNCTION
摘要
申请公布号 JPH09160613(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950324162 申请日期 1995.12.13
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 MIZOGUCHI MASANOBU
分类号 G05B19/05;G05B19/19;G05D3/12;(IPC1-7):G05B19/05 主分类号 G05B19/05
代理机构 代理人
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