| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09162299(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
| 申请号 |
JP19950315084 |
申请日期 |
1995.12.04 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
TAKATSUKA HIROTAKA;FUSHIDA ATSUO |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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