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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09162184(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950319048 申请日期 1995.12.07
申请人 SONY CORP 发明人 SATO JUNICHI
分类号 C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 C23C16/40
代理机构 代理人
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