| 发明名称 |
ELECTRODE DESIGN TO CONTROL UNIFORM PROFILE BY PLASMA PROCESSING REACTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09162178(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
| 申请号 |
JP19960163607 |
申请日期 |
1996.06.05 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOC INC |
发明人 |
SHIAMAKU SARIMIAN;KARORU EMU HERAA;RUMIN RI |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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