| 发明名称 |
IMPURITY MEASURING METHOD AND DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09159649(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
| 申请号 |
JP19950316499 |
申请日期 |
1995.12.05 |
| 申请人 |
TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP |
发明人 |
SASAKI HIROMI;TAMAOKI MAKIKO |
| 分类号 |
G01N27/26;G01N1/38;G01N1/40;G01N27/42;H01L21/66;(IPC1-7):G01N27/42 |
主分类号 |
G01N27/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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