发明名称 CHARGED PARTICLE BEAM DRAWING METHOD AND METHOD FOR DETECTING POSITION AND ROTATIONAL SHIFT OF MATERIAL TO BE DRAWN
摘要
申请公布号 JPH09162093(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950315121 申请日期 1995.12.04
申请人 JEOL LTD 发明人 TAKAHASHI MAKOTO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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