| 发明名称 |
MICROWAVE RESONANCE INSPECTION EQUIPMENT AND DENSITY MEASURING METHOD OF DYNAMIC PLASMA USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09161992(A) |
申请公布日期 |
1997.06.20 |
| 申请号 |
JP19960235402 |
申请日期 |
1996.09.05 |
| 申请人 |
KANKOKU DENSHI TSUSHIN KENKYUSHO |
发明人 |
JIYONDE KIMU;YUUNHO SON;KIYONIKU CHIYOO |
| 分类号 |
G01N22/00;G01N21/73;H05H1/00;(IPC1-7):H05H1/00 |
主分类号 |
G01N22/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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