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发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR STABILIZING SURFACE
摘要
申请公布号
JPH09162183(A)
申请公布日期
1997.06.20
申请号
JP19950316498
申请日期
1995.12.05
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
OTSUKA MARI
分类号
H01L21/31;H01L21/26;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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