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发明名称 DEFECT DETECTION METHOD AND DEVICE OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09162252(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950319939 申请日期 1995.12.08
申请人 NEC CORP 发明人 NAGATA TAKESHI
分类号 G01N33/00;G01N30/88;H01L21/306;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N33/00
代理机构 代理人
主权项
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