发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09162190(A) 申请公布日期 1997.06.20
申请号 JP19950346028 申请日期 1995.12.11
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 KITAMI TAKAHIDE
分类号 H01L29/40;H01L21/301;H01L21/322;H01L21/326;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/326 主分类号 H01L29/40
代理机构 代理人
主权项
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