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发明名称 Schneidsystem
摘要
申请公布号 DE69125112(T2) 申请公布日期 1997.06.19
申请号 DE19916025112T 申请日期 1991.12.09
申请人 DISCO CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YUKAWA, ISAO, ODAWARA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;YOSHII, MASAHIRO, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;SEKIYA, KAZUMA, MINATO-KU, TOYKO, JP
分类号 B23Q17/24;B27B31/06;B28D5/00;B28D5/02;H01L21/301;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B23Q17/24
代理机构 代理人
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