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发明名称 Decontamination process
摘要
申请公布号 US3007820(A) 申请公布日期 1961.11.07
申请号 US19600011288 申请日期 1960.02.26
申请人 MOTOROLA, INC. 发明人 MCNAMARA JOHN E.;KEATING KENNETH L.
分类号 C30B31/00;C30B31/14;C30B33/00;H01L21/00;H01L21/302 主分类号 C30B31/00
代理机构 代理人
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