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发明名称 Festkörperbildaufnahmevorrichtung
摘要
申请公布号 DE69126101(D1) 申请公布日期 1997.06.19
申请号 DE19916026101 申请日期 1991.11.25
申请人 NEC CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TORIYAMA, KEIJI, C/O NEC CORPORATION, TOKYO, JP
分类号 H01L27/14;H01L27/148;H01L31/0216;(IPC1-7):H01L31/021 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人
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