Reaktionskammer für eine Vorrichtung zur chemischen Gasphasenabscheidung,申请号DE19934330266-传众专利搜索

发明名称	Reaktionskammer für eine Vorrichtung zur chemischen Gasphasenabscheidung
摘要
申请公布号	DE4330266(C2)	申请公布日期	1997.06.19
申请号	DE19934330266	申请日期	1993.09.07
申请人	MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	TSUTAHARA, KOICHIRO, ITAMI, HYOGO, JP;YAMAGUCHI, TORU, ITAMI, HYOGO, JP;EJIMA, TAIZO, FUKUOKA, JP;MINAMI, TOSHIHIKO, FUKUOKA, JP;KAWATA, YOSHINOBU, FUKUOKA, JP
分类号	C23C16/44;C23C16/455;C23C16/458;C23C16/46;H01L21/00;H01L21/205;H01L21/683;(IPC1-7):C23C16/44;C23C16/40	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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