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发明名称 Schraubenkolben-Vakuumpumpe
摘要
申请公布号 DE69216699(T2) 申请公布日期 1997.06.19
申请号 DE19926016699T 申请日期 1992.07.09
申请人 EBARA CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 SHIMIZU, NOBURU, YOKOHAMA-SHI, KANAGAWA-KEN, JP;YANAGISAWA, KIYOSHI, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA-KEN, JP
分类号 F04C25/02;F04C23/00;F04C29/12;(IPC1-7):F04C18/16;F04C29/08 主分类号 F04C25/02
代理机构 代理人
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