发明名称 A method of forming a contact hole in a semiconductor device.
摘要
申请公布号 GB2308232(A) 申请公布日期 1997.06.18
申请号 GB19960026111 申请日期 1996.12.16
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 BYUNG SEOK * LEE;EI SAM * JEONG;IL SEOK * SONG;HAE JUNG * LEE
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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