发明名称 METHOD OF MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR970009862(B1) 申请公布日期 1997.06.18
申请号 KR19880005663 申请日期 1988.05.16
申请人 N.V. PHILIPS CORP. 发明人 JACQUES J.VAN OEKEL
分类号 H01L21/308;C23F1/26;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/308
代理机构 代理人
主权项
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