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发明名称 METHODE UND APPARAT ZUM WACHSEN VON VERBINDUNGSHALBLEITERKRISTALLEN
摘要
申请公布号 DE69126122(D1) 申请公布日期 1997.06.19
申请号 DE1991626122 申请日期 1991.09.20
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 KONDO, MAKOTO, FUJITSU LIMITED 1015, KAMIKODANAKA, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;SEKIGUCHI, HIROSHI, FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 C30B25/14;(IPC1-7):H01L21/205;C23C16/44 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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