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发明名称
HALFTONE-TYPE PHASE SHIFTING MASK AND METHOD FOR FABRICATING THE SAME
摘要
申请公布号
KR1019970009822(B1)
申请公布日期
1997.06.18
申请号
KR1019940001942
申请日期
1994.02.03
申请人
发明人
分类号
主分类号
代理机构
代理人
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地址
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