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发明名称 Method of light exposure in making thin film transistors
摘要
申请公布号 GB2308230(A) 申请公布日期 1997.06.18
申请号 GB19960025761 申请日期 1996.12.11
申请人 * HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 CHEOL-HEE * PARK;JONG-SEOK * JANG
分类号 H01L21/027;H01L21/336;H01L21/77;H01L21/84;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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