| 发明名称 |
PERFEZIONAMENTO RELATIVO ALLA LAVORAZIONE DI SEMICONDUTTORI |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
ITRM950829(A1) |
申请公布日期 |
1997.06.18 |
| 申请号 |
IT1995RM00829 |
申请日期 |
1995.12.18 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS ITALIA S.P.A. |
发明人 |
AUZINO LUIGI;CANGIANO AGOSTINO |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F9/00;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
