| 发明名称 |
THIN FILM FORMING APPARATUS AND PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH09157831(A) |
申请公布日期 |
1997.06.17 |
| 申请号 |
JP19950317646 |
申请日期 |
1995.12.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
UCHIDA JUNICHI;SHIDA HIROYUKI |
| 分类号 |
C23C14/00;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/00 |
主分类号 |
C23C14/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
