| 发明名称 |
VAPORIZATION SOURCE FOR VACUUM DEPOSITION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09157836(A) |
申请公布日期 |
1997.06.17 |
| 申请号 |
JP19950311785 |
申请日期 |
1995.11.30 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
KASEBE TSUYOSHI;UCHIDA KAZUO;NISHIGORI HISAHIRO |
| 分类号 |
C23C14/26;C23C14/24;H01G4/015;H01G4/18;(IPC1-7):C23C14/26 |
主分类号 |
C23C14/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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