| 发明名称 |
LIQUID STIRRING APPARATUS AND VACUUM DEGASSING APPARATUS AND VACUUM DEPOSITION APPARATUS USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09155177(A) |
申请公布日期 |
1997.06.17 |
| 申请号 |
JP19950321792 |
申请日期 |
1995.12.11 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
NISHIDA TAKANORI;YASUDA TOSHIO;YOSHIMURA YUJI |
| 分类号 |
B01D19/00;B01F13/08;C23C14/24;(IPC1-7):B01F13/08 |
主分类号 |
B01D19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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