| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUPERLATTICE MULTILAYER FILM CONSISTING OF TITANIUM AND MAGNESIUM OXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09157098(A) |
申请公布日期 |
1997.06.17 |
| 申请号 |
JP19950337931 |
申请日期 |
1995.12.01 |
| 申请人 |
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL |
发明人 |
KADO TETSUO;TAMAI HIROYASU |
| 分类号 |
C30B29/02;C30B23/08;C30B29/16;C30B29/68;H01L21/203;H01L21/205;(IPC1-7):C30B29/68 |
主分类号 |
C30B29/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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