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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09155272(A) 申请公布日期 1997.06.17
申请号 JP19950324713 申请日期 1995.12.13
申请人 ABLE:KK 发明人 KOJIMA YOICHI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;B05D1/40;H01L21/027;H01L21/31;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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