摘要 |
UNA SUPERFICIE DE UN SUBSTRATO (18), ES RECUBIERTA CON UNA BARRERA IMPERMEABLE, A PARTIR DE UN MATERIAL ORGANICO (24), EL CUAL EN UNA CAMARA AL VACIO (44), CON UN VACIO AL MENOS DE 10-3 MBAR, ES EVAPORADO EN UN CRISOL (22) Y ES PRECIPITADO SOBRE LA SUPERFICIE DEL SUBSTRATO. AL MISMO TIEMPO ES CONDUCIDO UN HAZ DE ELECTRONES IONIZADORES (32) DE BAJA ENERGIA, CON FORMACION DE UN PLASMA, POR MEDIO DE LA FASE GASEOSA (28) DE UN MATERIAL INORGANICO (24), PREFERENTEMENTE EN DIRECCION CASI PARALELA RESPECTO A LA SUPERFICIE DEL SUBSTRATO (18). ENTRE EL CRISOL (22) Y EL SOPORTE DEL SUBSTRATO (16), SE HA DISPUESTO AL MENOS UN CAÑON DE HACES ELECTRONICOS DE BAJA TENSION (30), CON EL ANODO (34) CORRESPONDIENTE EN LA CAMARA DE VACIO (44). LA UTILIZACION PRINCIPAL SE ENCUENTRA EN EL RECUBRIMIENTO DE LAMINAS SINTETICAS (10) PARA LA INDUSTRIA DE EMBALAJES.
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