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发明名称 Fabrication Process of SOI Substrate
摘要
申请公布号 CA2192631(A1) 申请公布日期 1997.06.13
申请号 CA19962192631 申请日期 1996.12.11
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ATOJI, TADASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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